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半导体生产用超纯水设备的工作原理

文章出处:EDI水处理作者:EDI水处理发表时间:2016-01-21 14:22:08

  半导体的生产离不开水的处理和加工,为此,半导体生产用超纯水设备采用的制水技术,保证设备出水水质符合行业用水需求。

超纯水设备

超纯水设备

  半导体生产用超纯水设备工作原理

  超纯水设备供给原水进入EDI超纯水系统,主要部分流入树脂/膜内部,而另一部分沿膜板外侧流动,以洗去透出膜外的离子,树脂截留水中的容存离子,被截留的离子在电极作用下,阴离子向正极方向运动,阳离子向负极方向运动,阳离子透过阳离子膜,排出树脂/膜之外,阴离子透过阴离子膜,排出树脂/膜之外,浓缩了的离子从废水流路中排出,无离子水从树脂/膜内流出。

超纯水设备

超纯水设备

  半导体生产用超纯水设备的工艺流程

  原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

超纯水设备

超纯水设备

  半导体生产用超纯水设备特点

  1、选用高性能离子交换树脂,工作交换容量大,能耗低,使用寿命长。

  2、控制部分全部采用进口控制器,保障设备持续安全运行。

  3、全自动控制系统,出水稳定,使用操作方便快捷。

  4、结构合理,安装操作方便。

  5、可根据实际使用需求,水处理设备个性化设计相应设备。

超纯水设备

超纯水设备

  半导体生产用超纯水设备采用的制水工艺成熟,结合全自动运行控制系统,保证设备运行稳定,具有操作简单、出水可靠等优点。

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